参考资料 SECS/GEM参考链接: https://www.bilibili.com/video/BV11e411g7qg https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3401 https://www.bilibili.com/video/BV1dW4y1c7Gn 半导体设备通讯标准介绍(一)semi secs、gem、GEM300、interfaceA(EDA)区别 | 金南瓜科技 - 引领工业基础 SECS/GEM300协议介绍 | 金南瓜科技 - 引领工业基础 h…