参考资料
SECS/GEM参考链接:
https://www.bilibili.com/video/BV11e411g7qg
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3401
https://www.bilibili.com/video/BV1dW4y1c7Gn
半导体设备通讯标准介绍(一)semi secs、gem、GEM300、interfaceA(EDA)区别 | 金南瓜科技 - 引领工业基础
SECS/GEM300协议介绍 | 金南瓜科技 - 引领工业基础
https://www.bilibili.com/video/BV11d4y1977a
https://www.bilibili.com/video/BV1DG41157iq
https://www.bilibili.com/video/BV1MU4y1v7hT
C# SECS/GEM SDK | 金南瓜科技 - 引领工业基础
https://www.bilibili.com/video/BV1eH4y1j7kT
模拟器:
金南瓜模拟器:免费试用、资料书 | 金南瓜科技 - 引领工业基础
https://blog.csdn.net/panda_225400/article/details/120315233

半导体工艺介绍




CIM系统架构介绍



CIM参考链接:CIM国外目前双寡头垄断:美国应用材料AMAT公司和IBM公司。
https://aicim.tech/archives/semiconductor-cim-system
https://www.bilibili.com/video/BV1bJynYdEYq

一、场景需求
在PLC SECS 编辑器中,您只需变量配置窗口定义变量,通过设备PLC数据地址将它们链接到 PLC。
您只需要做一个数据列表映射,它包含您希望提供给主机 (VID) 的变量列表、警报 (ALID) 和事件 (CEID) 列表。
如果您不太熟悉 SECS/GEM,那么 VID 是您允许主机读取的数据,而 ALID 是设备警报,CEID 是“收集事件”,设备发生的标志性动作,如开始、停止、上料等动作。
通常最重要的数据这些与批次完整性、装载批次、卸载批次、批次开始、批次结束和工艺程序(配方)更改有关。在处理批次时提供事件也很有用,从站到站移动,门打开/关闭等。

二、协议介绍
半导体设备自动化和智能化程度很高。作为黑灯工厂,工厂就必须做到高度自动化。设备和工厂通过什么方式进行关联起来呢,半导体行业提出了相关的semi标准。
1。 基本的通讯层:SECS/GEM
也称为GEM200
E4 SECS I(SPECIFICATION FOR SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS
STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER)
E37 HSMS (SPECIFICATION FOR HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES)
E5 SPECIFICATION FOR SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS
STANDARD 2 MESSAGE CONTENT
E30 GEM SPECIFICATION FOR THE GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS
AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT
2。 GEM300(300mm):复杂和应用更高级的场景
E40 (PROCESSING MANAGEMENT)
E84 (ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE)
E87 (CARRIER MANAGEMENT (CMS))
E90(SUBSTRATE TRACKING)
E94(CONTROL JOB MANAGEMENT)
E116(EQUIPMENT PERFORMANCE TRACKING)
E157(MODULE PROCESS TRACKING)
3。Interface A(EDA): 提供大数据的处理接口
E120(THE COMMON EQUIPMENT MODEL)
E125 (EQUIPMENT SELF DESCRIPTION)
E132 (EQUIPMENT CLIENT AUTHENTICATION AND AUTHORIZATION)
E134(DATA COLLECTION MANAGEMENT)
E164(EDA COMMON METADATA)






协议介绍二











三、通讯转换器













